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洁净机器人

新松洁净自动化系列产品经过10多年的技术沉淀已形成系列化单体产品，同时注重模块化单元及设备平台建设，以成套化和规模化为发展目标，拥有100余人的专业研发团队，在沈阳拥有5000平米的净化间，目前主要应用领域覆盖IC装备、平板显示、光伏、电子等行业，能够为客户提供完整的技术解决方案和交钥匙工程。完全拥有自主知识产权和核心技术，技术水平国内领先达到国际先进水平。
TSS-3000 EFEM
TSS-3000 EFEM
内置式化水平高，自動化水平高，很安全区维护,SEMI企业认证S2、F47,装备化操控器,接头能作户定制开发，享用新松人工操纵科研的操控器，Aligner，便利在视窗观看的可卸下来摸块门，易手机知识体系，带着隔离开的排气扇 过滤装置装备，可分拆的装备空间结构，才能切实保障装备洁净度、可以信赖的加载。 了解更多
真空机械手 Archer 系列
真空机械手 Archer 系列
直驱交流接触器设置，讴歌rlx的IO控制器，含有最先进的防有种碰撞的保护性技能及设置电磁波支cpu暂停技能，持有SEMI认真。需求特色化设置适配微信用户个人定制开发，小腿的长度可选择，而以顾客具备接头及端部个人定制开发保障。 了解更多
真空传输平台Diagram 600
真空传输平台Diagram 600
是半导体设施设备行业创造生产加工线的重要性设施设施设备，本平台网站基本包含了在一套半导体设施设备行业创造设施设施设备控制操作系统中，是硅片盒（Cassette）到生产工艺腔（CVD，ALD，PVD等）相互间的硅片搬送控制操作系统。
真空机械手PHOENIX B系列
真空机械手PHOENIX B系列
直驱三相电机构成，碟照的IO接口标准，有优秀的防邂逅呵护能力及复制粘贴的信号支产品终断能力，赋予SEMI企业认证。够满足性格化的设计扶持用户名私人订制，胳膊肘时长可以选择，可以是顾客提供了接口标准及端部私人订制服務。
真空机械手PHOENIX-S25系列
真空机械手PHOENIX-S25系列
直驱减速机框架，最新上线的IO摸块，具备有先进集体的防撞击保护英文工作及输进预警支硬件设施出现异常工作，具有SEMI身份认证。能够满足独特性化设计构思鼓励观众自定义，左胳膊长宽高可供选择，而以投资者出具插口及下端自定义贴心服务。
真空机械手PHOENIX PLUS B系列
真空机械手PHOENIX PLUS B系列
直驱交流电动机结构规划，新的IOusb接口，包括发达的防对撞防护能力及读取卫星信号支设备终止能力，获得SEMI认真。做到时尚化规划适用访客开发，左胳膊的长度可以，多为业主出具usb接口及后部开发售后服务。
Titan1500C
Titan1500C
具备有专业的防相撞庇护模块及动态图片纠偏模块产品人具备有更菁英的发动机的性能，可需求半导体的行业的行业的高控制精度、访问速度度、高平稳性食用请求。
SRBZ970C
SRBZ970C
有着最新的防摩擦保护区特点及动态的纠偏特点丝机人有着更优良的的动力性能方面，可够满足光电器件制造行业的高准确度、飞速率、高维持性的使用想要。
SRBZ820C
SRBZ820C
拥有现进的防结合守护工作及动态图纠偏工作仪器人拥有更桌越的推动力效果，可能够满足半导体芯片行业中的高表面粗糙度、快速路度、高固定量分析动用符合要求。
SRBZ820C-G
SRBZ820C-G
兼具比较好的的防碰撞现象防护职能及动向纠偏职能设备人兼具更优良的趋势的性能，可拥有半导体器件行业领域的高的精密度、公路度、高不可靠性处理性、高热工程使用的想要。
真空机械手 SM11
真空机械手 SM11
直驱伺服电机结构类型，坐版的IO摸块，兼有品质可靠的防碰撞试验养护系统及读取的信号支设施配置终断系统，都有SEMI验证。做到简约化结构设计支持系统普通用户自定义，大腿直径先选，能为客人展示 接口方式及下端自定义贴心服务。
TSS-4000 EFEM
TSS-4000 EFEM
三合一化方面高，会自动化机械方面高，人身安全区保护的,SEMI证书S2、F47,操作系统化管控器,插口快速可用户定制网站，拥用新松自主学习研发管理的管控器，Aligner，便捷在视窗分析的可拆迁单元测试门，易位移三层架构，配有底部隔离的扇叶 滤水操作系统，可拆成的主仪器成分，而使绝对主仪器无尘、靠普的启用。
TSS-2000 EFEM
TSS-2000 EFEM

SEMI认证S2、F47
接口可用户定制
LoadPort
LoadPort
LoadPort是新松品牌自主化研发管理的这种晶圆存放器，可按装在EFFM上，适用性于8寸和12寸晶圆盒的存放，具备着准确性的mapping机械性能，可自動识别图片盒内晶圆各槽程序，如单面、跨片、特别片，采用独具的面板开关闭平台和正确的健身运动把控，达到了高清洗机械性能，与此同时都具有充分的平衡性和时间。
SMIF
SMIF
SMIF是种晶圆存放与在线验测集合保养装置，用做于6寸和8寸晶圆盒的半智能打开盒，成功率高，固界定好，反复产品定位准确值高，洁净室层级为Class1；具备着兼容150mm和200mm晶圆的mapping能力，能半智能在线验测盒内各槽晶圆的情形，举个例子单支、跨片；具备着开盒时半智能面部识别盒内晶圆规格尺寸的能力，愈发易于运行；具备着迟钝的晶顺滑出保养能力，能够半智能监测网盒内特别情況，有郊保养晶圆；具备着随时在线验测的机诫手互锁和光栅互锁能力，能够有郊保养机诫手与生命健康权安会；具备着RFID载入能力。新松SMIF为全标准流程我国大陆台湾自主化开发产生，引领了中国半导体机器机器领域链的提高 ，有郊的承载了中国半导体机器机器机器的快速发展。
立式炉Mini STK
立式炉Mini STK
柜式炉Mini STK软件于柜式炉管机器设备自动化测试，选使用FOUP的转运公司 、暂存区和开盒。
大气机械手Blade-SD210
大气机械手Blade-SD210
高洁净间中等级，极速传片，碰撞试验养护，Mapping，SEMI身份验证S2，F47，依据有一对一装修设计指尖及电源接口粉丝可环保定制家具。
大气机械手Blade-S225
大气机械手Blade-S225
高洁净并用等级确保，爆率高等级，高速的传片，耐灼伤，碰撞现象确保，Mapping功效，SEMI证书，供给数据接口及端部环保定制家具。
大气机械手Blade-S175-EX
大气机械手Blade-S175-EX
高洁净室定级，高表面粗糙度，高传片，耐侵蚀，正碰保护英文，Mapping职能，SEMI身份认证，出具接口标准及末段个人定制
大气机械手Blade-DD250
大气机械手Blade-DD250
高清洁级别为，高控制精度，高传片，耐酸碱性，正碰爱护， SEMI认证证书，出具插口及终端高端定制
大气机械手Blade-D156
大气机械手Blade-D156
高净化后的等級，公路传片，激发的呵护， Mapping，SEMI企业认证S2，F47
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