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大气机械手Blade-DD250
大气磅礴机戒手非常广泛应用在硅晶圆相应LED蓝晶石基片搬卸。臂膀优化网络成分进一步强化了臂膀的基础,并更好率抑制性震动问题,轻数量化设定满足了速度需求。精神力的手工制造制作工艺提高工作效率更好率降底成本费用,升降市场的竟争力。材料、精加工相应漆层处理各个面优化,以达成高洁傲岸纯净度。包括多个人身安全守护特点。肘部和腕部灵活性调控,可使得机人就可以所采用中任何正确姿势来取放晶圆,容许越来越多的片盒水平线排布,更大大节省办公空间,习惯性更强。是半导体器件服务行业的特色之选。 

advantages

产品优势
  • 手臂结构先进
    增强手臂刚性,抑制振动
  • 改进本体制造工艺
    降低成本,竞争力强
  • 个性化设计
    用户可定制手指及接口
  • 高洁净度
    优选材料、加工以及表面处理
  • 肘部、腕部灵活
    任意姿势取放晶圆,节省空间,适应性强
  • 多重安全保护
    软件控制系统,防止碰撞
  • 质量可靠
    高品质零部件,精密装配,严格检验,高寿命

Application areas

产品应用领域

parameter

产品参数
  • 结构形式
    柱坐标定位型/SCARA型
  • 负载-名称
    晶圆
  • 负载-直径
    φ200mm/φ300mm
  • 负载-重量
    ≤0.5kg
  • 自由度数
    4
  • 最大回转直径
    425mm
  • 运动范围-升降轴(Z轴)
    330mm
  • 运动范围-回转轴(T轴)
    330°
  • 运动范围-伸展轴(R1、R2)
    820mm
  • 节拍-回转轴(T轴)
    1s/180°
  • 节拍-伸展轴(R1、R2)
    1.2s/330mm
  • 洁净度
    ISO CLASS 1
  • 主机重量
    70kg
  • 电源
    208VAC(50Hz/60Hz)
  • 行程
    820mm
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