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真空机械手PHOENIX PLUS B系列
直驱同步电机形式兼备最高的真空平台性能特点,内部管理形式不能轮齿,传动带等部件,平台运动的平静性更优质,稳定性最高。全新升级的IO摸块,兼备很多的输出电压投入引脚,粉丝名会利用采用需求显卡标准调试程序成互锁,感应器器查重等模块键。投入电磁波支的操作系统出现中断模块键,有利大家显卡标准调试程序AWC等位子锁存模块键软件用。会有健康安全区显卡标准调试程序模块键和灵活的汽车碰撞爱护模块键,削减粉丝名误的操作促使的所有亏损资金。会有大显示触摸屏服务器人示教器,有利调试程序技术人员采用,并的支持热插拔模块键。会利用大家软件用的特殊性标准,环保定制家具胳膊寸尺,Z轴旅行路线,耐持续高温耐防腐蚀性能特点等。

advantages

产品优势
  • 安全稳定可靠
    具有性能安全稳定可靠,运行平稳性好等特点
  • 多种优势
    具有高刚性、高速度、高精度等优势
  • 性价比优越
    适用于洁净领域,轻量级设计使其与产线融于一体,作业空间利用率高
  • 技术优越
    其控制技术优越,动作灵活轻巧快捷,操作持久耐用
  • 多种优良特性
    满足各类柔性化集成和生产等优良特性于一体

Application areas

产品应用领域

parameter

产品参数
  • 晶圆尺寸
    φ200、φ300mm
  • 负载重量
    ≤0.5Kg
  • R轴重复定位精度
    ±0.05mm
  • θ轴重复定位精度
    ±0.006°
  • Z轴重复定位精度
    ±0.05mm
  • R轴行程
    ≤1160mm
  • T轴行程
    360°
  • Z轴行程
    35mm /90mm
  • 真空度
    <1×10-7 Torr
  • 漏率
    <1×10-9 std.cc/sec He
  • 整机重量
    50kg
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