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大气机械手Blade-D156
合体机械传输、系列伺服驱使、整洁机械传输及润滑的、SCARA臂膀成分，具备着需要办公空间小、大伸拉比、高导致精度、高整洁度等的特点。投其所好特性化环保定制家具，脚趾头及界面玩家可环保定制家具，网格化保持操作系统，优质率传片和结合防护的功能，SEMI资质认证S2、F47，MCBF以上1000万次。承当成功完成晶圆在FOUP、缓冲区室、的工艺选址等彼此的自动式传回。是半导体器件这个行业的优异之选购。

advantages

产品优势
  • 耦合传动、SCARA手臂结构
    占用空间小、伸缩比大
  • 高精度、高洁净度
    伺服驱动、洁净传动及润滑
  • 个性化设计
    用户可定制手指及接口
  • 系统网络化控制
    传片效率高、碰撞保护
  • 质量可靠
    S2、F47，MCBF大于1000万次

Application areas

产品应用领域

parameter

产品参数
  • 结构形式
    柱地理坐标型/SCARA型
  • 直径
    2寸/4寸/6寸/8寸/12寸/
  • 负载重量
    ≤0.5kg
  • 自由度数
    4
  • 手数量
    2
  • 最大回转直径
    586mm
  • 运动范围-升降轴（Z轴）
    450mm
  • 运动范围-回转轴（T轴）
    340°
  • 运动范围-伸展轴（R1、R2）
    660mm
  • 节拍-回转轴（T轴）
    0.7s/180°
  • 节拍-伸展轴（R1、R2）
    1.2S/450mm
  • 洁净度
    ISO CLASS 1
  • 主机重量
    70kg
  • 行程
    660mm
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