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真空机械手PHOENIX-S25系列
直驱三相电机组成含有越来越高的抽真空形态,内外部组成就没有蜗轮蜗杆,的传动带等配件,设计运转的市场协整性最佳,牢靠性越来越高。全新升级的IO传调节器器,含有许多的读取导入引脚,微信用户组能要选择消费需求设置成互锁,传调节器器加测等作用。导入信号灯支服务器硬件终断作用,简单微信用户设置AWC等座位锁存作用施用。带异稳定区设置作用和灵敏度的接触保障作用,下降微信用户组误工作以至于的不同的亏损。带异显示荧屏机气人示教器,简单按装员工施用,并支技热插拔作用。能要选择微信用户施用的特种让,定做大腿长宽,Z轴路程,耐中高温耐蚀化形态等

advantages

产品优势
  • 安全稳定可靠
    具有性能安全稳定可靠,运行平稳性好等特点
  • 多种优势
    具有高刚性、高速度、高精度等优势
  • 作业空间利用率高
    适用于洁净领域,轻量级设计使其与产线融于一体,作业空间利用率高
  • 技术优越
    其控制技术优越,动作灵活轻巧快捷,操作持久耐用
  • 多种优良特性
    满足各类柔性化集成和生产等优良特性于一体

Application areas

产品应用领域

parameter

产品参数
  • 晶圆尺寸
    φ200mm
  • 负载重量
    ≤0.5Kg
  • R轴重复定位精度
    ±0.05mm
  • θ轴重复定位精度
    ±0.006°
  • Z轴重复定位精度
    ±0.05mm
  • R轴行程
    ≤703mm
  • T轴行程
    360°
  • Z轴行程
    35mm
  • 真空度
    <1×10-7 Torr
  • 漏率
    <1×10-9 std.cc/sec He
  • 整机重量
    50kg
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