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真空机械手PHOENIX B系列
直驱变频电动机组成部分有挺高的真空系统的性能,室内组成部分无齿轮传动,腰带等零部件,系统的行驶的趋于稳定性很好,就还可以信赖性挺高。新的IO板块,有更好的导入输出导入引脚,顾客就还可以给出需要量性能成互锁,传调节器器检查等技能。导入走势支电脑硬件出现中断技能,快捷业主性能AWC等定位锁存技能软件。含有安全性高区性能技能和敏锐的触碰保障技能,还可以减少顾客误作业致使的各项损耗。含有大显示屏幕机设备人示教器,快捷调整工作人员在使用,并支撑热插拔技能。就还可以给出业主软件的特别让,来样加工的手臂长宽高,Z轴行程安排,耐耐温、耐热耐灼伤性能等。

advantages

产品优势
  • 安全稳定可靠
    具有性能安全稳定可靠,运行平稳性好等特点
  • 多种优势
    具有高刚性、高速度、高精度等优势
  • 性价比优越
    适用于洁净领域,轻量级设计使其与产线融于一体,作业空间利用率高
  • 技术优越
    其控制技术优越,动作灵活轻巧快捷,操作持久耐用
  • 多种优良特性
    满足各类柔性化集成和生产等优良特性于一体

Application areas

产品应用领域

parameter

产品参数
  • 晶圆尺寸
    φ200、φ300mm
  • 负载重量
    ≤0.5Kg
  • R轴重复定位精度
    ±0.05mm
  • θ轴重复定位精度
    ±0.006°
  • Z轴重复定位精度
    ±0.05mm
  • R轴行程
    ≤1015mm
  • T轴行程
    360°
  • Z轴行程
    90mm/135mm
  • 真空度
    <1×10-7 Torr
  • 漏率
    <1×10-9 std.cc/sec He
  • 整机重量
    55kg
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