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真空机械手 Archer 系列
直驱马达空间结构有最佳的涡流的特点,平台开机运行的有序性最佳,是真的吗性最佳。最新的IO方案,有越来越多的输出的放入引脚,手机微信用户需要会按照需求分析运行环境成互锁,感知器的检测等系统键。放入电磁波支硬件设施断开系统键,简单业主运行环境AWC等座位锁存系统键适用。具有的安全区运行环境系统键和灵敏度的冲撞保护措施系统键,降低手机微信用户误实际操作造成 的一些重大损失。具有大屏显示幕机人示教器,简单复位人采用,并支技热插拔系统键。需要会按照业主适用的特殊的想要,定制开发手腕尺寸图,耐炎热耐被腐蚀的特点等。

advantages

产品优势
  • 安全稳定可靠
    具有性能安全稳定可靠,运行平稳性好等特点
  • 多种优势
    具有高刚性、高速度、高精度等优势
  • 性价比优越
    适用于洁净领域,轻量级设计使其与产线融于一体,作业空间利用率高
  • 技术优越
    其控制技术优越,动作灵活轻巧快捷,操作持久耐用
  • 多种优良特性
    满足各类柔性化集成和生产等优良特性于一体

Application areas

产品应用领域

parameter

产品参数
  • 晶圆尺寸
    φ200、φ300mm
  • 负载重量
    ≤0.5Kg
  • R轴重复定位精度
    ±0.05mm
  • θ轴重复定位精度
    ±0.006°
  • Z轴重复定位精度
    ±0.05mm
  • R轴行程
    ≤1220mm
  • T轴行程
    360°T轴形成
  • Z轴行程
    95mm/135mm
  • 漏率
    <1×10-9 std.cc/sec He
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