TSS-2000 EFEM
EFEM就是个晶圆前沿数据传递主生产设备，就是个与SEMI标淮兼容的操作界面平台，都可以自动亦或是听取MR或OHT的乘载技术水平数据传递晶圆。该平台带来了单线接口类型供工业区管控，充足的数据传递排距与工业区数据交互和简单化的方式方便工服务保障。征地赔偿面积计算小，利用带外轴的两手机械生产设备手，按照双轴组合健身担保取放片，有效的挺高了传片速度的另外而又拉低了好产品运营的成本。组织结构的最顶配的固体挡水板结构类型，担保组织结构的区域美观室度还可以拥有ISO Class 1水平，担保晶圆数据传递全方式的美观室度。组织结构的可能含有多大互锁保护的，从PC软件到硬件系统，多大担保晶圆数据传递全方式中的健康安全性，人员管理与主生产设备的健康安全性。
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