真空传输平台Diagram 600
本车辆的一般从而做到在半导体行业处理器处理器生产生产制造生产车间内的晶圆发送功效，一般含盖进/物料腔室，发送腔室，预改变方向机与正空机戒手。在半导体行业处理器晶圆的生产制造注意事项中，必须 确保着较大的无尘度，并且，发送的时差不多会在以确保正空的坏境下启动。通过据此耍求，本车辆的的本职操作任务注意事项必须 含盖截取正空和回填风压，大概指出为：在发送网络机构物料腔室内加入晶圆载具后，关物料腔室的进行上下滑动门边框，将物料网络机构内抽气至正空动态，并且主发送腔内确保着高正空的动态。发送腔室和物料腔室气体压力低过肯定数据后，开始两腔中间的丢开门阀，正空机戒手去掉晶圆，经预改变方向机改变方向后，传回顾客店铺推广方法腔。顾客店铺推广方法成功后，机戒手从方法腔腔掏出晶圆，置入物料腔室中的晶圆载具中，晶圆载具最大可以多次贮存25片晶圆。本职操作任务循环法系统收尾后，进/物料腔室恢复功能至原则大风压后，开始进行上下滑动门边框，一些本职操作任务循环法系统收尾。
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