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真空机械手 SM11

直驱无刷电机设备构造包括更高的一些的真空体系优点,室内设备构造没了齿轮传动,这根牛皮带等元器件,体系启动的市场单位根检验大多,能信性更高的一些。最顶配的IO信息模块,包括大多的輸出放入引脚,顾客能否按照条件显卡硬件配置单成互锁,调节器器监测等职能。放入手机信号支电脑硬件出现中断职能,方面合作方显卡硬件配置单AWC等位子锁存职能采用。配有应急区显卡硬件配置单职能和灵敏性的碰撞测试呵护职能,限制顾客误选用引致的各种类型亏损资金。配有大屏广告幕刷卡机人示教器,方面调校工人选用,并鼓励热插拔职能。能否按照合作方采用的特别的条件,私人定制大腿图片尺寸,耐高溫耐腐化优点等。

advantages

产品优势
  • 性能安全稳定可靠
    运行平稳性好、高真空度
  • 高品质
    具有高刚性、高速度、高精度等优势
  • 性价比优越
    适用于洁净领域,轻量级设计使其与产线融于一体,作业空间利用率高
  • 高洁净度
    优选材料、加工以及表面处理
  • 控制技术优越
    动作灵活轻巧快捷,操作持久耐用
  • 高优良特性
    满足各类柔性化集成和生产等优良特性于一体

Application areas

产品应用领域

parameter

产品参数
  • 晶圆尺寸
    φ200mm
  • 负载重量
    ≤0.5Kg
  • R轴重复定位精度
    ±0.05mm
  • θ轴重复定位精度
    ±0.006°
  • R轴行程
    ≤530.5mm
  • T轴行程
    360°
  • 真空度
    <1×10-7 Torr
  • 漏率
    <1×10-9 std.cc/sec He
  • 整机重量
    25kg
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