SMIF
SMIF有的是种晶圆存放与查测整合机械，实用在6寸和8寸晶圆盒的主动按钮开关盒，效果高，稳定量分析高性好，连续导航定位导致精度就越高，干净干燥高等级为Class1；都有着兼容150mm和200mm晶圆的mapping基本性能模块，能主动查测盒内各槽晶圆程序，举例说明片式、跨片；都有着开盒时主动识別盒内晶圆图片尺寸的基本性能模块，更有方便动用；都有着机灵的晶顺滑出维护基本性能模块，能主动监测技术盒内超时条件，有郊维护晶圆；都有着实时的查测的机诫手互锁和光栅互锁基本性能模块，能有郊维护机诫手以其工作人员安全保障；都有着RFID读取数据基本性能模块。新松SMIF为全注意事项在我国大陸综合性设置打造，促使了在中国外半导体器件器件文化产业的发展的持续的发展，有郊的撑起、了在中国外半导体器件器件机械的的发展。
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