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LoadPort
LoadPort是新松我司专业化研制开发的另一种晶圆垃圾存放仪器，可配置在EFFM上，采中用8寸和12寸晶圆盒的垃圾存放，要具备精度的mapping职能，可全自动辨别的盒内晶圆各槽感觉，如片式、跨片、无效片，使用独到的按钮开打烊构造和精度的的运动把控好，实行了高保养性能指标，而且具优异的可靠性和快慢。

advantages

产品优势
  • 安全稳定可靠
    速度快、稳定性好
  • 可挂载
    可挂载到标准EFFM接口上
  • 多兼容
    兼容6寸和8寸晶圆和的开启和关闭
  • 自动识别
    自动识别盒内晶圆尺寸以及盒内各槽晶圆状态
  • 防夹手功能
    内置防夹手功能

Application areas

产品应用领域

parameter

产品参数
  • 动作对象
    300mm 25 Wafer FOUP/ 200mm 25 Wafer adaptor
  • 外形尺寸mm H x W x D
    1381*470*570
  • 本体重量
    60kg
  • 重复位置精度
    ±0.1 mm
  • 动作时间
    开盒带Mapping 14Sec
  • 动作时间
    关盒不Mapping 10Sec
  • 洁净等级
    CLASS 100
  • 气源
    机械泵:-40~-80KPa 减少室内空气:0.5~0.6Mpa
  • 电源
    DC 24V 3AMax
  • 可靠性
    MCBF 500,000 times
  • 通讯接口
    RS232
  • 震动
    0.7g
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