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大气机械手Blade-S175-EX
十足机手大范围适用硅晶圆还有LED蓝玛瑙基片搬货。胳臂分为高端的空間结构增强了胳臂的弹性，并管用地缓和震动问题，轻批量设置足够极速标准。机体的开发技术改进方案管用地有效降低价格，升级市扬良性创新能力。材质、加工整理还有表皮整理甲乙双角度优享，以保持高贵纯度。还具有各种方面人身安全保护英文作用。肘部和腕部便捷的控制，让 仪器人能否分为指定的姿势来取放晶圆，更最省空間，适于性更强。是半导体设备业的优势可言之选。

advantages

产品优势
  • 手臂结构先进
    增强手臂刚性，抑制振动
  • 改进本体制造工艺
    降低成本，竞争力强
  • 个性化设计
    用户可定制手指及接口
  • 高洁净度
    优选材料、加工以及表面处理
  • 肘部、腕部灵活
    任意姿势取放晶圆，节省空间，适应性强
  • 多重安全保护
    软件控制系统，防止碰撞
  • 质量可靠
    高品质零部件，精密装配，严格检验，高寿命

Application areas

产品应用领域

parameter

产品参数
  • 结构形式
    柱平面坐标型/SCARA型
  • 负载-名称
    晶圆
  • 负载-直径
    φ200mm/φ300mm
  • 负载-重量
    ≤0.5kg
  • 自由度数
    3
  • 最大回转直径
    505mm
  • 运动范围-升降轴（Z轴）
    960mm
  • 运动范围-回转轴（T轴）
    340°
  • 运动范围-伸展轴（R轴）
    645mm
  • 最大速度-升降轴（Z轴）
    400mm/s
  • 最大速度-回转轴（T轴）
    340°
  • 最大速度-伸展轴（R轴）
    645mm
  • 重复定位精度-升降轴（Z轴）
    ±0.1mm (3σ)
  • 重复定位精度-回转轴（T轴）
    ±0.01°(3σ)
  • 重复定位精度-伸展轴（R轴）
    ±0.1mm (3σ)
  • 洁净度
    ISO CLASS 4
  • 主机重量
    90kg
  • 电源
    VAC 220V±10
  • 行程
    618mm
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