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立式炉Mini STK
立试炉Mini STK软件于立试炉管生产设备web前端，适合于FOUP的转运公司 、存贮和开盒。

advantages

产品优势
  • 一体成型设计
    整机一体成型设计
  • 自主研发
    自主研发FTR机械手，适配多类型300mm FOUP
  • 搭载双口开盒器
    后端搭载双口开盒器（FIMS），实现Front N2 purge
  • 可选配
    可选配Shelf N2 purge

Application areas

产品应用领域

parameter

产品参数
  • 外形尺寸
    1745×1100×3500（mm）
  • 工位数
    18
  • 负载
    ≤10kg
  • 重复位置精度
    ±0.1mm
  • 振动
    ≤0.3g
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