TSS-3000 EFEM
EFEM一个晶圆web前端高速数据接入仪器，一个与SEMI标兼容的画质操作系统化，不错手动式又或者配合默契MR或OHT的载重量关卡高速数据接入晶圆。该操作系统化带来单线插孔供厂里掌握，充实的高速数据接入边距与厂里交互性和轻松的方法任人工提供服务。占地赔偿户型面积小，用带外面轴的双手机械制造手，凭借双轴黏结移动改变取放片，大大的升高了传片转化率的时候而又减低了专用设备维系价格。内外新 的有害气体引流管框架，绝对内外房间干净干燥度要能符合ISO Class 1等级分类，绝对晶圆高速数据接入具体步骤的干净干燥度。内外包含很多互锁防护，从小软件到cpu，很多绝对晶圆高速数据接入具体步骤中的应急，员工与仪器的应急。
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