TSS-4000 EFEM
EFEM也是个个晶圆网页前端传递设配，也是个个与SEMI规范兼容的表层设施设备，会手工或 听取MR或OHT的负载能力传递晶圆。该设施设备作为单线模块供铸造厂保持，充实的传递行距与铸造厂信息交互和简略的玩法可供工服务项目。征地赔偿面積小，在带外界轴的两臂自动化设施设备手，在双轴挽回自行车运动做到取放片，巨大的增加了传片生产率的时候而又降低了了商品维护保养总成本。实物全新的的废气通气管机构，提高实物空间区域清洁度还可以提供ISO Class 1极别，提高晶圆传递期间的清洁度。实物暗含重量互锁保障，从电脑软件到硬件配置，重量提高晶圆传递期间中的很应急，工人与设配的很应急。
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