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大气机械手Blade-SD210

耦合传动、伺服驱动、洁净传动及润滑、SCARA手臂结构，具有占用空间小、大伸缩比、高精度、高洁净度等优点。迎合个性化设计，手指及接口用户可定制，网络化控制系统，高效率传片和碰撞保护功能，SEMI认证S2、F47，MCBF大于1000万次。负责完成晶圆在FOUP、缓冲室、工艺位置等之间的自动传送。是半导体行业的优越之选择。

advantages

产品优势
  • 耦合传动、SCARA手臂结构
    占用空间小，伸缩比大
  • 高精度、高洁净度
    伺服驱动、洁净传动及润滑
  • 个性化设计
    用户可定制手指及接口
  • 系统网络化控制
    传片效率高、碰撞保护
  • 质量可靠
    高品质零部件，精密装配，严格检验，高寿命
  • SEMI认证
    S2、F47，MCBF大于1000万次
  • 质量可靠
    高品质零部件，精密装配，严格检验，高寿命

Application areas

产品应用领域

parameter

产品参数
  • 结构形式
    柱坐标值型/SCARA型
  • 负载-名称
    晶圆
  • 负载-直径
    2寸/4寸/6寸/8寸/12寸/
  • 负载-重量
    ≤0.5kg
  • 自由度数
    2
  • 最大回转直径
    580mm
  • 运动范围-升降轴（Z轴）
    450mm
  • 运动范围-回转轴（T轴）
    270°
  • 运动范围-伸展轴（R1、R2）
    670mm
  • 节拍-升降轴（Z轴）
    <1s
  • 节拍-回转轴（T轴）
    0.7s/180°
  • 节拍-伸展轴（R1、R2）
    1.2S/450mm
  • 重复定位精度-升降轴（Z轴）
    ±0.1mm (3σ)
  • 重复定位精度-回转轴（T轴）
    ±0.006°(3σ)
  • 重复定位精度-伸展轴（R1、R2）
    ±0.1mm (3σ)
  • 洁净度
    ISO CLASS 1
  • 主机重量
    60kg
  • 电源
    208VAC(50Hz/60Hz)
  • 行程
    670mm
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