3月20日,SEMICON China 在上海新国际博览中心隆重开幕,SEMICON China国际半导体展是全球规模最大、影响面最广的集技术、产业、市场、创新、投资于一身的半导体产业盛会。此次展会,新松半导体携Centaur真空机械手亮相。
在SEMICON China 现场,新松展出的Centaur产品得到现场观众广泛关注,新松Centaur真空机械手是一款具有高传输效率、独立双机械手臂的产品,产品拥有领先的重复定位精度、高效的传输节拍、灵敏的碰撞保护以及AWC动态纠偏等功能,胜任不同尺寸规格的晶圆搬运,提供全自研半导体晶圆传输解决方案。
▲ 新松Centaur真空环境机械装备手
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